Comprender cómo se realiza el proceso de recubrimiento de vacío

Revestimientoes un proceso utilizado para fabricar materiales de película delgada de alta calidad. Produce películas delgadas al evaporar térmicamente o pulverizar materiales orgánicos o inorgánicos en la superficie de un sustrato en condiciones de vacío. Este artículo introducirá la implementación del recubrimiento de vacío en detalle.

El proceso de recubrimiento de vacío incluye los siguientes pasos:

1. Elija el sustrato y el material derecho

Elegir el sustrato y el material derecho es el primer paso en el recubrimiento de vacío. El sustrato puede ser vidrio, plástico, metal u otros nanomateriales. Los materiales pueden ser orgánicos o inorgánicos, como metales, semiconductores, óxidos o nitruros.

2. Cargue el sistema de recubrimiento de vacío

El segundo paso es cargar el sustrato y los materiales en el sistema de recubrimiento de vacío. El sistema de recubrimiento de vacío incluye una cámara de vacío, un evaporador de metal, una palmada y un sistema de control. La cámara de vacío es un espacio cerrado utilizado para mantener un entorno de vacío, los evaporadores metálicos y los espinuos son dispositivos utilizados para evaporar o pulverizar materiales en sustratos, y el sistema de control se utiliza para monitorear y ajustar el entorno de vacío y la evaporación del material o la velocidad de pulverización.

3. Vacú

Después de cargar el material y el sustrato, la cámara de vacío debe evacuarse. La aspiradora es un paso muy importante, porque mantener un entorno de baja presión y alta pureza puede garantizar la calidad de la membrana. El entorno de vacío generalmente está por debajo de 10^-6 Mbar para excluir las moléculas de gas y otros contaminantes.

4. Evaporación o chisporroteo material

Cuando el entorno de vacío alcanza la presión deseada, el material puede evaporarse o pulverizar sobre el sustrato. Existen dos métodos de evaporación de materiales: evaporación térmica y evaporación del haz de electrones. La pulverización también tiene dos métodos: pulverización de magnetrón y pulverización de arco. Cualquiera que sea el método que se utilice, la evaporación del material o la velocidad de pulverización y el grosor de la película deben controlarse.

5. Hacer una película multicapa

Una vez que se ha fabricado una membrana de una sola capa, se pueden apilar múltiples capas para formar un compuesto. Se pueden utilizar diferentes materiales y procesos de deposición, como deposición alterna, co-deposición de material multiristría y deposición en zonas.

6. Calidad de la membrana de prueba

El último paso es probar la calidad de la membrana. Las pruebas pueden incluir espesor, propiedades físicas, propiedades ópticas y propiedades eléctricas, entre otras. Determine si el material de la membrana cumple con los requisitos de acuerdo con los resultados de la prueba.

En resumen, la tecnología de recubrimiento de vacío es un método para lograr películas delgadas de alta calidad. Necesita seleccionar el sustrato y el material apropiados, cargar el sistema de recubrimiento de vacío, vacuumizar, evaporar el material o pulverizar, hacer una película de múltiples capas y probar la calidad de la película. La tecnología de recubrimiento de vacío se ha utilizado ampliamente en electrónica, óptica, campos médicos y energéticos.