Principio de control de presión del equipo de recubrimiento al vacío

1. Introducción de fondo
El equipo de recubrimiento de vacío es un tipo de equipo ampliamente utilizado en la producción industrial. Su función principal es colocar el material que debe recubrir en la cámara de recubrimiento de vacío, y a través de la reacción a alta temperatura y un ambiente de alta vacío, la capa de película se deposita uniformemente en la superficie del material. y forme una determinada capa de recubrimiento con funciones y características especiales. Entre ellos, el grado de vacío y la tasa de adhesión en el equipo son indicadores importantes que afectan la calidad de la capa de recubrimiento, y la estabilidad del grado de vacío depende del control de presión en el equipo.
2. Principio de control de presión del equipo de recubrimiento de vacío
1. Definición de grado de vacío
Antes de introducir el principio de control de presión, es necesario introducir qué es el vacío. En física, el vacío se refiere a un entorno de gas cuya presión es menos que la presión atmosférica, por lo que el grado de vacío se refiere a la presión de gas en un espacio determinado. En general, el vacío generalmente se mide en pascales (PA) o barra de metros (MBAR). En el equipo de recubrimiento de vacío, el rango habitual de vacío es 10^-6pa ~ 10^-2Pa.
2. El principio del control de presión
Cuando el vacío es demasiado alto o demasiado bajo, afectará el funcionamiento normal del equipo. Por lo tanto, es necesario controlar el nivel de vacío en el equipo a través de un determinado método. Entre ellos, el control de presión es un método de control relativamente simple y eficiente. Específicamente, el principio del control de presión es utilizar un controlador de presión para controlar la velocidad de flujo de gas en el equipo detectando la presión del extremo controlado y luego a través del mecanismo de retroalimentación, controlando la apertura de la válvula, para lograr el propósito de controlar la presión.
3. La composición básica del controlador de presión
En el equipo de recubrimiento de vacío, un controlador de presión generalmente se usa para controlar la presión. Su composición básica incluye cuatro partes: sensor de detección, controlador, actuador y sistema de control.
Sensor de detección: se usa principalmente para detectar el cambio de presión del extremo controlado y convertirlo en una salida de señal eléctrica correspondiente para su uso por el controlador.
Controlador: recibe principalmente la salida de la señal eléctrica por el sensor, procesa y lo analiza, y luego alimenta el resultado del análisis al actuador para controlar el grado de apertura del actuador.
Actuador: controla principalmente la velocidad de flujo de gas en el equipo controlando el grado de apertura de la válvula, para lograr el propósito de controlar la presión.
Sistema de control: se usa principalmente para monitorear y controlar varios indicadores en el equipo, como temperatura, grado de vacío, etc., y hacer una serie de estrategias de control.
3. Resumen
En resumen, el principio del control de presión en el equipo de recubrimiento de vacío es controlar la presión en el equipo a través de un mecanismo de retroalimentación relativamente simple y eficiente. Establecer dicho sistema de control estable requiere el soporte técnico de varios aspectos del sistema de control de equipos, como monitoreo de parámetros, algoritmo de control, control del actuador, vinculación del sistema, etc. Estos factores técnicos requieren la cooperación de cierto personal profesional y técnico para garantizar que el equipo pueda mostrar un rendimiento más excelente.